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CVD爐

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型號︰JR500*500*1200
品牌︰金瑞來
原產地︰中國
最少訂量︰1 件

 共有 20 相關信息  
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產品描述

化學氣相沉積爐應用領域

化學氣相沉積爐(沉積炭)可用於以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVDCVI處理。

化學氣相沉積爐產品規格

產品型號/規格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

化學氣相沉積爐主要配置

u 爐門:絲杠昇降//液壓昇降/手動昇降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

爐殼:全碳鋼/內層不鏽鋼/全不鏽鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

真空泵和真空計---進口/國產

PLC:歐姆龍/西門子

控溫儀表:日本島電/英國歐陸

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

電器元件:正泰/施耐德/西門子

料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

化學氣相沉積爐技術特征

本化學氣相沉積爐 工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;

本化學氣相沉積爐採用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

本化學氣相沉積爐採用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

本化學氣相沉積爐採用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等進行有效處理。

付款方式︰面議
產品圖片





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