化學氣相沉積爐應用領域
化學氣相沉積爐（沉積炭）可用於以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
化學氣相沉積爐產品規格
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產品型號/規格W×H×L(mm)
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600*600*1000
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800*800*1200
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1000*1000*1500
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1200*1200*2500
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1500*1500*3000
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2500*2000*3600
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裝載重量(KG)
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350
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800
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1500
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2500
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5000
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10000
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溫度(℃)
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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溫度均勻性(℃)
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±7.5
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±7.5
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±7.5
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±10
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±10
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±15
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加熱功率(kw)
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250
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360
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480
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600
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900
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1200
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極限真空度(Pa)
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20
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20
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20
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20
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20
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20
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壓升率(Pa/h)
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。
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化學氣相沉積爐主要配置
u 爐門：絲杠昇降//液壓昇降/手動昇降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
u 爐殼：全碳鋼/內層不鏽鋼/全不鏽鋼
u 爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
u 加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
u 工藝氣路系統：體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產
u 真空泵和真空計---進口/國產
u PLC：歐姆龍/西門子
u 控溫儀表：日本島電/英國歐陸
u 熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
u 記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產
u 人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機
u 電器元件：正泰/施耐德/西門子
u 料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學氣相沉積爐技術特征
n 本化學氣相沉積爐 工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；
n 本化學氣相沉積爐採用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
n 本化學氣相沉積爐採用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
n 本化學氣相沉積爐採用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
n 本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
