产品描述

用途：用于导热材料（PI膜）的高温石墨化处理。

产品结构特点

炉温均匀性

采用中频电源感应加热，效率高：独特的炉膛设计，大大提高了炉温均匀性。炉温均匀性度±10℃，温控精度±1℃。

能耗低

双层氧化铝保温材料，隔热耐火效果好，热损失小，升温速度快。

易损件使用寿命长

坩埚底部垫有高强度硬质复合毡，以确保石墨坩埚在高温下平整均匀受力，是同类产品使用寿命的1.3倍。

具有高度安全性

设计炉体防爆阀，安全可靠。

设备自动化程度高

1. 全自动化控制，触摸屏直观的显示各种参数数据，完善的报警和闭锁停机保护装置。水电气全自动控制，操作轻松简便。
2. 电源柜采用全密封结构，机柜自带水冷和风冷散热器，不与外界空气发生热交换， 的控温系统，采用进口数显化智能温控表，可与PLC实现数据通讯，全自动高精度完成测温控制过程，系统可按给定升温曲线升温，并可贮存二十条共400段不同的工艺加热曲线。
3. 采用密闭内循环纯水冷却系统；数字式流量监控系统，每一路水由流量计监控保护。
4. 采用中科院研发、生产的高性能气体净化机，可将气体氧含量降至1PPMV，露点温度可降至-70℃。
5. 炉体转换采用我公司专用高性能中频转换器，避免传统接触器的打火等接触不良现象。
6. 按照升温时间和工艺要求，可单台电源柜配置多台炉体，分别对单台炉体实现升温和降温分开完成，大大提高生产效率。

主要技术参数及配置

产品型号规格	JR-SML20/30	JR-SML40/100	JR-SML50/100	JR-SML60/100	JR-SML90/160
额定装模尺寸	120*120	255*255	330*330	400*400	550*550
恒定炉温	3000℃	3000℃	2850℃	2850℃	2800℃
极限炉温	3000℃（可完全满足高导热膜的石墨化）
控温方式	采用日本SHIMADEN(岛电)温控仪
有效工作区（mm）	Φ200*300	Φ400*1000	Φ500*1000	Φ600*1000	Φ900*1600
根据客户要求，可以优选配置。
1.触摸屏或工控机全自动控制和记录工艺参数。PLC可编程与触摸屏显示系统，智能温控表与PLC实现数据通讯。
2.数字式流量监控系统，每一路水由流量计监控。
3.根据真空度的要求加配罗茨泵，真空度可达40Pa
4.为了工人值守轻松，增加进出气自动平衡系统。（质量流量控制仪准确控制进入炉内各种气体流量，压力控制仪准确控制炉内气氛压力。
5.收集焦油采用双级冷凝脱焦过滤器净化真空排放气体，有效保护真空泵运转正常。
6.高性能气体净化器,可将气体氧含量降至1PPMV，露点温度可降至-70℃。
7多功能操作台可实现远程控制，最远20米距离